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工信部推广国产氟化氩光刻机:分辨率≤65nm
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简介 据微信公众号“工信微报”消息,近日,工信部发布了《首台套)重大技术装备推广应用指导目录2024年版)》。 “工信微报”介绍道,重大技术装备是国之重器,事关综合国力和国家安全。中国首台套)重大技术 ...
据微信公众号“工信微报”消息,工信广国光刻近日,部推辨率工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。产氟柳州市某某教育科技厂
“工信微报”介绍道,化氩重大技术装备是机分国之重器,事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台(套)重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩柳州市某某教育科技厂装备产品,包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻
而观察者网注意到,部推辨率在《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》电子专用装备目录下,产氟集成电路设备方面:氟化氩光刻机,化氩光源193纳米,机分分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
工信部网站
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